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机译:基于静电刚度的新型Z轴谐振微加速度计
Bo Yang; Xingjun Wang; Bo Dai; Xiaojun Liu;
机译:具有高相对灵敏度的MEMS共振加速度计,基于静电诱导刚度扰动的感测方案
机译:基于静电刚度变化的共振微加速度计
机译:基于静电刚度的新型Z轴谐振微观仪的设计与仿真
机译:静电执行器的设计,用于调整微机电系统的有效刚度。
机译:基于双端调整叉的谐振压力微传感器依赖于静电激发和压阻检测
机译:用于沿X轴,Y轴或Z轴对齐对象的设备,例如制药行业的设备包括底板和可沿X轴,Y轴和Z轴调整的工作台
机译:Z轴差分加速度计
机译:Z轴差分MEMS加速度计和相关方法
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